1959年*臺100KV電子顯微鏡1975年*臺掃描電子顯微鏡DX3在中國科學院科學儀器廠（現(xiàn)北京中科科儀技術發(fā)展有限責任公司）研發(fā)成功。
掃描電子顯微鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。
掃描電子顯微鏡根據(jù)不同信息產生的機理，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關物質微觀形貌的信息；對x射線的采集，可得到物質化學成分的信息。正因如此，根據(jù)不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡對于固體材料的研究應用非常廣泛，沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對于固體材料的全面特征的描述，掃描電子顯微鏡是至關重要的。
隨著電子技術和計算機技術的發(fā)展，不僅實現(xiàn)了數(shù)字化圖像，而且電鏡所有的功能都已經(jīng)實現(xiàn)了數(shù)字化控制。現(xiàn)代掃描電鏡電器控制系統(tǒng)高度集成化，掃描電鏡結構越來越緊湊，自動化功能越來越高，極大改善了人機操作環(huán)境。目前掃描電子顯微鏡的zui主要組合分析功能有:X射線顯微分析系統(tǒng)（即能譜儀,EDS），主要用于元素的定性和定量分析，并可分析樣品微區(qū)的化學成分等信息；電子背散射系統(tǒng)（即結晶學分析系統(tǒng)），主要用于晶體和礦物的研究。
